Российские ученые разработали установку для плазмохимического осаждения (ПХО) на кремниевых пластинах диаметром 300 мм — ключевой процесс в производстве микросхем, сообщают Известия. Ранее в России подобное оборудование отсутствовало, и для выполнения операций использовались в основном импортные машины. Новая установка, разработанная в Научно-исследовательском институте точного машиностроения (НИИТМ), укрепляет технологический суверенитет страны и открывает перспективы для высокотехнологичного экспорта.
По словам разработчиков, 300-миллиметровые пластины являются мировым стандартом, на основе которого производится более 90% микросхем. Их использование увеличивает объем выпуска чипов с каждой пластины и снижает себестоимость. Установка также поддерживает работу с пластинами диаметром 200 мм, что позволит проводить тесты в существующих технологических процессах.
Оборудование базируется на модульной структуре, позволяющей гибко адаптировать его под конкретные потребности производства. Опытный образец установки проходит заключительные доработки, а тестовые испытания запланированы на лето 2025 года. В перспективе ожидается запуск серийного производства.
Эксперты отмечают, что локализация производства составных частей установки стала важным достижением. Новая техника не уступает импортным аналогам, а ее создание — значимый шаг на пути к импортозамещению в области микроэлектроники.
Кроме того, специалисты подчеркивают, что внедрение оборудования для работы с 300-миллиметровыми пластинами крайне важно для развития отечественной электронной промышленности, так как подобные машины производят лишь несколько компаний в мире. Благодаря этой разработке Россия имеет шансы не только укрепить внутренний рынок, но и стать альтернативным поставщиком для других стран.
Установка ПХО станет краеугольным камнем в создании полного цикла производства полупроводниковых компонентов в России. Специалисты также прогнозируют, что НИИТМ сможет предложить оборудование для других процессов, таких как плазмохимическое травление и эпитаксия, что еще больше укрепит позиции страны на мировом рынке микроэлектроники.
